EDX-7000/8000能量色散X射線分析在晶體材料上的應用

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析是利用衍射原理，準確的測定物質的晶體結構，織構及應力，準確的進行物相分析，定性分析，定量分析。廣泛應用于冶金，石油，化工，科研，航空航天，教學，材料生產等領域。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析可以通過延長測定時間增加X射線熒光的計數從而提高精度（重現性）。搭載高計數率SDD檢測器的EDX－7000／8000與以往型號相比，能夠在更短的時間內保證分析精度。

 

　　能量色散X射線光譜（EDX）通常借助電子顯微鏡使用對樣品實施微區成分分析，依據元素特征X射線的波長和強度，來檢測樣品中不同元素的相對含量和分布情況。EDX的探測效率高，操作簡單，而且對樣品表面沒有特殊要求。

 

　　但EDX的分辨率較低，并且只能分析原子序數大于11的元素，同時常用的Si探頭要保持在低溫狀態下工作，操作上有所不便。EELS相比EDX對輕元素有更好的分辨效果，能量分辨率高出1～2個量級，空間分辨能力由于伴隨著透射電鏡技術，也可以達到10＾－10m的量級，同時可以用于測試薄膜厚度，有一定時間分辨力。

 

　　對于晶體材料，當待測晶體與入射束呈不同角度時，那些滿足布拉格衍射的晶面就會被檢測出來，體現在XRD圖譜上就是具有不同的衍射強度的衍射峰。對于非晶體材料，由于其結構不存在晶體結構中原子排列的長程有序，只是在幾個原子范圍內存在著短程有序。故非晶體材料的XRD圖譜為一些漫散射饅頭峰。